随着半导体的蓬勃发展,光刻机也被巴统列为尖端产品,对华实行禁运
而国内很少有从事光刻机的专业人才,只能从相关学科中调兵遣将
底子薄、基础差,还有“巴统”这样的镣铐,落后在所难免
1973年,美国PerkinElmer公司推出首台扫描投影光刻机,这种光刻机精度高,又改变了把光掩模压在光刻胶上的技术路线,芯片生产的良率从10%一夜之间提升到70%
文 | 华商韬略 李慕白 国人普遍对光刻机唉声叹气之时,全球光刻机龙头ASML首席执行官彼得·温宁克却曾表示: “如果不将光刻机卖给中国,五年之内,他们必将掌握所有的EUV光刻技术,十五年之后,ASML公司或将失去行业话语权!” 我们能做到吗? 【1】艰难开局 1956年,周恩来总理收到了一份六百万字的草案,在这份《十二年科学技术发展远景规划》中,中科院的学部委员们提出了57项重点发展任务