尽管后来尼康和佳能碰得头破血流,终于攻破了157纳米干式光刻技术,但是当他们反应过来的时候,干式光刻机已经没有任何市场优势
所以从2005年之后,他们的市场份额不断被ASML吞食,目前尼康和佳能在高端光刻机市场上完全已经不是ASML的对手
面对这种现实,我觉得我国光刻机有必要更改一下技术路线,不一定要跟随ASML的步伐一头埋进浸润式光刻机技术路线当中
在这条路线上ASML有积累、有资金、有技术、有供应链、有市场优势,所以我们再怎么拼估计也拼不过他们,这时候还不如放手一搏,去攻破其他光刻机技术路线,就像当年ASML放手一搏一样