大家都知道光刻机是芯片制造过程中,最重要的设备之一
但大家不清楚的是,光刻机也分前道光刻机,后道光刻机两种
前道光刻机,主要是指将芯片电路图,光刻到硅晶圆上的光刻机,也就是芯片制造的前道工序号需要的光刻机,也称之为前道光刻机,其中又分EUV光刻机、DUV光刻机,UV(i-line)光刻机
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