目前全球能够制造光刻机的厂商,真不多,可能也就4家,分别是ASML、日本佳能、日本尼康,还有上海微电子
那么这4家各自在市场表现如何?近日,有机构统计了2021年全球前道光刻机的销售情况,一共是478台(注:数据真假未知,但以机构的知名数,估计不会有假)
如上图所示,去年全球一共售出478台前道光刻机,其中ASML拿下309台,占比为65%,日本厂商拿下169台,占比为35%
而中国厂商的份额为0
再看看5种分类,可以看到EUV光刻机是ASML独占100%,而DUV中,精度更高的ArFi、ArF Dry均是ASML说了算,占比分别96%、88%