西门子能造光刻机么
EUV光刻机会使用二氧化碳激光不断轰击DUV上应用的金属锡原液,使其在激光下变为等离子状态,波长相比之前更短
这一技术不但考验机器的精加工能力,对于操控激光发射的软件也提出了艰巨的要求,别说我国,目前也只有荷兰掌握着成熟制造技术,其他发达国家都会向其采购预定,以提高本国技术水平
全世界仅2个国家掌握
送货依然很快 到了就装上了 很快很静音 以前的也是先锋的 用了很多年很多次 买新的依然选择先锋
目前荷日的光刻机都采用的固定操作台,对于这样一个精密机器,工作台也需要做到极高的精度,EUV光刻机采用高精度激光干涉仪,以便降低光刻机的位移干扰