2003 年和 2004 年,Zyvex 公司获得了美国 DARPA(国防高级研究计划局)颁发的小型企业创新研究 (SBIR) 奖,以开发 mini-SEM
小型扫描电子显微镜和用于生产低成本mini-SEM的制造组装技术支持了Zyvex在电子光学技术上的发展
△上图显示了跨 硅 表面的线扫描,其中有几个扰动导致轮廓 E 中的电流误差,其中控制回路是标准 PI 回路
在配置文件 F 中,自适应控制回路打开,并且尖端扫描同一行
更准确的电流控制可提供更准确的轮廓,并且当表面扰动较大时,可避免尖端碰撞