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70年代初,美日等国分别研制出接近式光刻机,而国内却一直停留在接触式光刻机
1977年,江苏吴县举行了全国性的光刻机座谈会,明确要改进光刻设备,尽快赶超世界先进水平
于是清华大学精密仪器系、中电科45所等先后投入研制更先进的光刻机
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