以便更多的读者可以从更系统、更全面的角度去了解我在这个系列撰文里所提出的观点及论述
光刻机运动台控制上海光机所的《激光与光电子学进展》众所周知,上海光机所是我国先进激光技术的顶尖研究单位之一,我曾经在前文详细介绍过上海光机所的极紫外光刻光源相关研究工作
《极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势》论文中引用的长春光机所极紫外多层膜研究工作极紫外光刻胶研究进展极紫外光刻胶《极紫外(EUV)光刻胶的研发》一文的作者杨国强教授和李嫕教授,分别在中国科学院光化学重点实验室和中国科学院理化技术研究所带领团队开展极紫外光刻胶开发