在之后的4年里,联盟组织大家一起就极紫外光的研究方向和商业转化的可能性进行了深入的研究,在得到积极的结果后,联盟就宣告解散,大家有各自回到自己的领域进行进一步的细化研究
但此时ASML的EUV光刻技术里也都是美国的基因,所以能不能卖EUV光刻机不是ASML能独自决定的
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中国能否造光刻机
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