先是中芯国际正常下单的EUV光刻机的交付时间不断推迟,直到今天依然没有交付,EUV光刻机也形成了事实上的“断供”;其后一直在正常交付的DUV光刻机成为了新的目标,多家外媒报道美国政府正在向ASML施压要求不准继续向中国销售DUV光刻机
我国第一台光刻机65型接触式光刻机但是光刻机的研发最终并没有延续下来,这其中有很多原因,一方面是国内很多事业尚处于初期阶段,有更重要的科研方向需要进行研发投入;另一方面则是当时的国际形势发生了变化,随着改革开放的进行加上当时同西方的关系大幅缓和,包括光刻机在内的众多核心设备都可以买到