电子束光刻机用镂空掩模板
靠自己,国内光刻机研发进展要提速了在ASML的通路受阻之后,中国企业采购DUV光刻机的通路,还剩下尼康和佳能,但美国大概率也会向日本施压,日本可能也很难不屈从于美国,因此,向外采购这条道路将会变得越来越不确定,未来可能要完全靠自己了
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