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光刻机_雕刻机_曝光系统

中企攻克卡脖子技术后,电子束光刻机日本

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近日,光刻机巨头阿斯麦公司在2021年财报中宣称,中国企业东方晶源在中国内地销售的产品,涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权

阿斯麦公司表示,他们将密切关注中企动态,如果有确凿证据显示其侵犯公司知识产权,将对其提起诉讼

资料显示,成立于2014年的东方晶源,主营业务集成电路良品率管理,旗下产品包括纳米电子束缺陷检测装备关键尺寸量测装备、计算光刻产品以及微电子设计制造智能良率优化设备

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不到国外先进光刻机,就只能自力更生,争取制造出国产光刻机

据悉,经过国内科技工作者以及相关企业的努力,中国在光刻机以及周边相关的卡脖子技术领域取得了一系列突破

面对中国取得的成就,西方国家和企业不是理性地看待,而是又打起了打压的念头

像阿斯麦公司的光刻机,一般附带有计算光刻设备,但是如果芯片代工巨头不满意,也可以选择第三方企业提供的计算光刻设备

也就是说,在计算光刻技术领域,东方晶源与阿斯麦是竞争对手

而阿斯麦公司在财报中提及的与东方晶源存在关联的美国公司XTAL,是由两名有着阿斯麦公司背景的技术人员创建

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中企攻克脖子技术后

2014年,两人从阿斯麦美国子公司Brion辞职后创立XTAL,专注于计算光刻技术的发展

据悉,Brion公司是光刻计算概念的提出者,后来被阿斯麦全资收购

随后几年时间里,XTAL公司的计算光刻业务发展迅速,市场占有率不断提升,阿斯麦公司因此失去了许多重量级的客户

目前全球芯片代工巨头如韩国三星以及中国台湾地区的台积电,均使用阿斯麦公司提供的高端光刻机,中国大陆的芯片代工企业也不例外

然而在中美关系恶化之后,美国为了限制中国半导体产业发展,勒令阿斯麦公司禁止向中国企业出口光刻机

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