编者按：2021年12月30日，长春光机所依托02专项极紫外光刻研究团队，在深圳国资委资助下，合作成立了一家新企业：长光集智光学科技有限公司
长春光机所研发团队持股20%，而第二大自然人股东--王丽萍教授，便是今天故事的主角
2005年美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具这篇论文给出了一份测试结果，展示了30nm和25nm的等线宽线距（L/S）的曝光能力，可以看到30纳米等L/S曝光结构非常清晰
而曝光28.8纳米的独立线条，仍可以获得非常高精度的曝光图案
读盘速度：读盘速度是非常的快，光盘放进去之后，机器反应非常灵敏。? 读盘声音：读盘的声音比较小，而且声音很稳定。? 稳定性能：性能很稳定，读盘的时候声音很稳定。 轻薄程度：这不是轻薄的光驱，这种光驱现在很难买了。幸好先锋还在生产。这一种平置式要比那种超薄的效果要好。? 外形外观：做工非常好，一看就是大厂的东西。? 产品包装：包装非常好，一看就是大厂的东西。让人放心。
读盘速度：读盘速度快，我喜欢。读盘声音：声音也不大，不像二手的。稳定性能：性能也很稳定。非常好用，以前不能读取的光盘现在可以了。刻录功能是我的首先。还没试，稍后有空再操作！
因此，从工业化角度而言，我国开发EUV，即便是可以省略了四镜头的ETS工程验证机的环节，六镜头的ADT演示工具应该是目前合适的攻关环节
王丽萍教授的两镜头EUV投影系统设计王丽萍教授的履历表写道：2004年毕业于长春理工大学后，于2004-2009年在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所攻读博士
先锋刻录机很好，上一个用了7年多才坏，现在换一个新的。很好用，读取速度很快，不愧是大牌子！
以前一直用三星，先锋也是大品牌，据说造假很厉害，信赖京东自营，这次试试。光驱对我来说是必备硬件，仁者见仁智者见智，有人习惯了U盘，某些特殊情况下，还是光驱方便。读盘速度很快，噪音也不大，做工和三星一样精细，目前用着很稳定，产品包装也比较到位。背面还有好几处防伪的刻字。很不错的一款产品。
曝光系统被置于真空罩中
在这个系统里，最核心的投影光学部分（MET projection optic）主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术，而这些也是长春光机所02专项的核心工作
中国用口罩跟荷兰换光刻机
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源
先锋刻录机，15年了 始终在用这个牌子 真心好用。还不错！14年的老电脑！就机箱和光驱没有换过啦！这次还换先锋的光驱！物美价廉
所以如果有人解读中国已经有每小时曝光10-20晶圆的EUV原型机，它大概率是把DUV当作了EUV
而第二代MET工具通常命名为MET-5，它经常出现在我的帖子里
美国加州劳伦斯伯克利实验室的MET-5极紫外曝光系统国内关于长春光机所的MET资料有限，我们不妨拿2005年的美国加州劳伦斯伯克利实验室的MET工具的性能做一个参照