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光刻机_雕刻机_曝光系统

除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?高端euv光刻机制造很难吗

NSR-S635E光刻机 / 尼康虽然这样的机器分辨率上与ASML的EUV光刻机还存在着不小的差距,但已经足以覆盖不少成熟工艺晶圆制造,以及部分次先进节点的辅助制造了

而在去年的SPIE先进光刻机技术会议上,尼康展示了名为双光束EUV光刻技术

光驱很漂亮,启动的声音很小,弹出非常平稳。希望能够用的时间久一些。读盘速度:很快读盘声音:声音小,几乎听不到产品包装:精美

FPA-6300ES6a光刻机 / 佳能佳能与尼康一样,同样拥有影像和光刻机两大业务,但在光刻机上,佳能的主要产品是i线和KrF光刻机,其中主打高分辨率产量的KrF扫描光刻机FPA-6300ES6a可以做到小于等于90nm的分辨

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读盘速度:快 读盘声音:不大 稳定性能:稳定 轻薄程度:标准 外形外观:好 产品包装:很好

虽然仍在概念阶段,但从论文上看基于该技术打造的光刻系统可以做到10nm的分辨率,0.4的数值孔径和200晶圆/小时以上的吞吐量,这样的参数甚至可以与ASML正在制造的高NA EUV光刻机一较高下了

不过要想造出这样的机器光有概念可不够,与之相关的元件与设备生态都得建立起来才行

读盘声音:声音小 轻薄程度:比较有质感 外形外观:质量看着很好 产品包装:包装完美 读盘速度:运行快 稳定性能:特别稳定

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除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?高端euv光刻机制造很难吗

从尼康最新季度的财报来看,由于工厂建设的投入被推迟,FPD光刻系统市场有所下滑,所以销量有所降低,上季度只卖出了6台FPD光刻机,6台i线光刻机、1台KrF光刻机和1台ArF浸没式光刻机

由于ArF光刻机仍有着较为强劲的需求,所以尼康仍然看好这一市场的未来趋势,目前核心客户因为人员短缺或能源供应等问题,只是在交付上有所推迟

除EUV系统以外,一些先进测量设备、先进封装设备用到的光学组件同样是高附加值、长交货周期的产品,即便半导体市场增速减缓,也不太会受到设备厂商资本支出变化的影响

佳能对于佳能来说,光刻机业务隶属于他们的工业与其他事业部,除了光刻机以外还有贴片机等设备

除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?高端euv光刻机制造很难

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