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光刻机_雕刻机_曝光系统

duv与ev光刻机的异同,2025年量产

要知道,半导体行业进步的背后有着一条金科玉律,那就是「摩尔定律」

摩尔定律表明:每隔 18~24 个月,封装在微芯片上的晶体管数量便会增加一倍,芯片的性能也会随之翻一番

当FinFET结构走到了无法突破物理极限的时候,对新的晶体管技术提出了需求

在微观结构上,N2采用纳米片电晶体(Nanosheet),取代FinFET(鳍式场效应晶体管),外界普遍认为,纳米片电晶体就是台积电版的GAAFET

根据这些数据权威硬件新闻网站Tom's Hardware的报道者表示,总体来看,N2的全世代制程较之前有明显的性能和耗电改观

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这在当下晶体管体积越发接近原子体积时,将会越来越突出

而且台积电「环绕栅极式纳米片电晶体管」的通道可以加宽以增加驱动电流并提高性能,也可以缩小以最大限度地降低功耗和成本

为了给这些「纳米片电晶体管」提供足够的电能而且避免漏电损耗,台积电的N2制程使用背面配电线路(backside power rail)

duv与ev光刻机异同

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2025年量产

未来比3nm更先进工艺,将极度依赖高NA EUV光刻

作为制造芯片最先进的设备,光刻机的先进程度等直接决定了芯片的制程工艺

目前来看,荷兰的ASML几乎垄断了世界上的高端光刻机,且产量非常少,价格

自2017年ASML第一台量产的EUV光刻机正式推出以来,三星的7nm/5nm工艺,台积电的第二代7nm工艺和5nm工艺的量产都是依赖于0.55数值孔径的EUV光刻机来进行生产

也就是说,GAA (gate-all-around,简称 GAA) 架构的出现再次拯救了摩尔定律

据称,台积电N2将使用GAAFET(全环绕栅极晶体管)技术,于2025年开始量产

N2在性能、功效上有明显提升,不过晶体管密度在2025年的时代背景中可能显得提升效果不大

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