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光刻机气浮导轨
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众所周知,目前芯片的制造流程中,光刻机是必不可少的设备,且从成本来看,光刻机占所有半导体设备成本的20-25%
但是大家也清楚,当前在光刻机领域,ASML是一家独大,特别是EUV光刻机,只有ASML能够生产,而在尖端一点的DUV光刻上面,也是ASML占优,佳能、尼康等品牌,主要占的是低档市场
佳能近日表示,接下来会研发新一代的NIL光刻机,新一代的NIL光刻机,有可能应用于28nm甚至14nm及以下的工艺
当然现在的问题是,能够媲美EUV光刻机的NIL光刻机,究竟会在什么时候面市,如果佳能能够实现这个技术,全球的半导体格局都有可能生变
虽然尼康、佳能、上海微电子都有光刻机,但要搞定EUV光刻机,估计是没太多办法的,ASML攒局的能力太强了,已经将利益链捆绑在一起了
为此,这要怎么办呢?当然就要换道超车了,比如佳能,知道在EUV上是不可能打败ASML的,所以一直押注纳米压印光刻(NIL)技术
所谓NIL技术,是将三维结构的掩膜压在晶圆的感光材料上,同时照射光线完成一次性转印,被称为是最有前景的光刻技术之一
目前在NIL的专利上,佳能一支独秀,远超其它任何厂商,并且佳能的NIL光刻机不仅仅是停留在纸面上,而是已经有有生产出来了,在2021年就有了成品,并且被铠侠应用于NAND闪存的生产
佳能想给中国提供光刻机
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如上图所示,这是机构统计的2021年前道光刻机出货量情况,大家可以看到高档的EUV光刻机,ASML完全垄断,低档尼康、佳能有一定的份额
而中国大量需要光刻机,特别是EUV光刻机,这就造成了市场与需求的不匹配,但ASML也没办法啊
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