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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国光刻机排名之父,已经实际应用

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读盘速度:读盘速度挺快的,稳定性很好 读盘声音:目前感觉声音比较正常,算是比较安静的 稳定性能:性能稳定不会飞盘 轻薄程度:普通的标准大小吧 外形外观:整体外观密闭性挺好,材质看着也很不错 产品包装:包装设计觉为艺术规范很结实

公司一直在用这个产品,经久耐用,一直在用,非常好用,也可以购买我们公司的产品。

发货速度快,包装严实,刻录机做工很精致,装上很好用,就是没有送刻录软件。替换了原来的内置光驱,完美安装上后,开机自动识别,无需任何操作(win7)

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中国光刻机排名之父

我们国家在4年前,曾经研制出一种特别的光刻机,但是很少有人知道,它的名字叫超分辨率光刻机,这台光刻机可是哟经365nm波长实现22nm工艺制程,通过多重曝光等手段,还可以实现10nm以下的工艺制程

在此基础上,项目组还结合超分辨光刻装备项目开发的高深宽比刻蚀、多重图形等配套工艺,未来能够实现10纳米以下特征尺寸图形的加工

读盘速度:非常不错! 读盘声音:声音小! 产品包装:包装不错! 外形外观:外观好看! 稳定性能:稳定好! 轻薄程度:合适

中国光刻机排名之父,已经实际应用

因为以现有的技术能力,这款光刻机只能做周期的线条和点阵,还是无法制作复杂的IC需要的图形的

同时,它还有一个显著的缺点,就是聚焦的面积非常小,属于接触式光刻,易产生缺陷,并且因为是直写式光刻,所以生产效率很低

所以,目前这款超分辨率光刻机只适用于特殊应用,例如科研攻关、技术研发领域

例如,该光刻机已制备出一系列纳米功能器件包括大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器、切伦科夫辐射器件、生化传感芯片、超表面成像器件等,验证了该装备纳米功能器件加工能力,已达到实用化水平

制造相关器件已在中国航天科技集团公司第八研究院、电子科技大学太赫兹科学技术研究中心四川大学华西医院、中科院系统信息功能材料国家重点实验室等多家科研院所和高校的重大研究任务中取得应用

已经实际应用

我在之前的视频里讲过,华为光源专利,其目的就是先对强光源进行去相干处理,以达到匀光效果,这样才能保证光刻工艺的正常进行

ASML光刻机的精度跟光源的波长、物镜的数值孔径是有关系的,波长越短越好,刻机分辨率就越高,制程工艺越先进

它的验收成功,也标志着我国研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备,具有重大意义

因为,超分辨率光刻机与ASML光刻机采用了完全不同的技术路线

ASML最出名的当属EUV光刻机和DUV光刻机

EUV指的是极紫外光,它可以制造7nm以下的芯片,使用的是13.5nm波长的光源

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