DUV光刻机又有两大路线,其中一种就是ASML为代表的浸润式光刻机,以水为介质,采用193nm波长的光线,在水中折射后,变成132nm,而这种设备一次曝光可以生产45-28nm的芯片,价格比EUV便宜一半
美国要求荷兰对华禁售ASML光刻机
但与此同时,限制进口光刻机利好国产替代,周三相关半导体设备股出现大涨,拓荆科技 (Piotech)、沈阳芯源 (Kingsemi)涨幅超10%,中微公司、北方华创带领沪深300大涨,科创50 (STAR50)指数则上涨了2.3%
报道称,由于无法获得荷兰政府的出口许可,ASML已经无法向中国出口其最先进、每台售价约1.6亿欧元的EUV光刻机
而美国此次针对的这些旧款DUV光刻机,可生产7nm及以上制程工艺芯片,是制造汽车、手机、计算机乃至机器人所需的某些非先进芯片的最常用设备,在目前全球芯片短缺之际必不可少
2018年开始,美国就对荷兰进行游说,并展开强大攻势,以阻挠荷兰将芯片制造技术出售给中国
时任美国总统副国家安全事务助理还对荷兰警告称,如果没有美国的零部件,ASML的设备就无法运转,而美国白宫有权限制这些零部件向荷兰出口
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上海中微电子65纳米光刻机
其次是企业的业绩
7月5日,国内刻蚀设备(光刻下游,溶解光刻胶部分金属)厂商中微公司(688012.SH)发布2022年中报预告,公司预计今年二季度营收19.7亿元,同比增长47.1%
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