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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源纳米压印光刻机对准技术

很久没有用过光驱了,现在小孩的学习资料很多是光盘,所以买一个用用,老牌光驱品牌,不错,很好用,如果能配套方便使用的刻录软件就更好了

2005年美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具这篇论文给出了一份测试结果,展示了30nm和25nm的等线宽线距(L/S)的曝光能力,可以看到30纳米等L/S曝光结构非常清晰

而曝光28.8纳米的独立线条,仍可以获得非常高精度的曝光图案

王丽萍研究生在读时,于2007年发表了1篇EUV光刻光学设计的论文,涉及镜头微缩投影系统:《极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计》

王丽萍2007年发表论文在这篇论文中,给出了一套MET工具的光学设计图,其数值孔径NA0.3,分辨力优于32nm、矩形视场为 300μm×500μm

好多年不用光驱了,孩子学了,发了很多书都带光盘教学,赶紧买了这个光驱,大牌子的先锋专业的光驱制造商,值得信赖,读盘效果杠杠的,超级赞??

因此,从工业化角度而言,我国开发EUV,即便是可以省略了四镜头的ETS工程验证机的环节,六镜头的ADT演示工具应该是目前合适的攻关环节

王丽萍教授的两镜头EUV投影系统设计王丽萍教授的履历表写道:2004年毕业长春理工大学后,于2004-2009年在中国科学院春光精密机械物理研究所攻读博士

读盘速度:读盘速度很快的,pineer先锋大品牌,品质有保障。 产品包装:包装结实,简单。 读盘声音:读盘声音不大,可以接受。 稳定性能:稳定性好。 轻薄程度:很轻薄,方便携带外出?。 外形外观:外形简约,灰黑色的,显得特别上档次。 京东自营的,物流给力有保障,好评好评。

先锋光驱,很多年的老品牌,用过一个先锋外置光驱,这次装机还是在京东选购一台内置先锋DVD刻录机,已装上,读盘很好,刻录功能还末试。

质量非常好,与描述的完全一致,非常满意,真的很喜欢,完全超出期望值,发货速度非常快,包装非常仔细、严实,服务态度很好,运送速度很快,很满意的N次购物

当然,作为实验性工具,MET也是在不断发展的,第一代MET工具NA0.3的数值孔径,对应于ASML的第一代NA0.33 EUV光刻机第二代MET工具具有NA0.5的数值孔径,对应于ASML的第二代NA0.55EUV光刻机

稳定性能:非常稳定 读盘速度:速度快 读盘声音:无噪音 外形外观:精致美观 轻薄程度:轻薄

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源纳米压印光刻机对准技术

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源纳米压印光刻机对准技术

以前台式机用的就是这个品牌的光驱,老品牌值得信赖。读写速度还不错,比较薄,也不占地方,刻录的功能还没试,应该不会差到哪里去。很满意。

美国加州劳伦斯伯克利实验室CXRO主任值得一提的是,2005年发表这篇论文的帕特里克·诺洛(Patrick Naulleau)当年是纽约州立大学的副教授,他现在是加州劳伦斯伯克利实验室CXRO的主管,CXRO实验室正在为下一代NA0.55 光刻机开发关键配套材料

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