除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?智光电气进口的光刻机先进吗
除EUV系统以外，一些先进测量设备、先进封装设备用到的光学组件同样是高附加值、长交货周期的产品，即便半导体市场增速减缓，也不太会受到设备厂商资本支出变化的影响
佳能对于佳能来说，光刻机业务隶属于他们的工业与其他事业部，除了光刻机以外还有贴片机等设备
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从尼康最新季度的财报来看，由于工厂建设的投入被推迟，FPD光刻系统市场有所下滑，所以销量有所降低，上季度只卖出了6台FPD光刻机，6台i线光刻机、1台KrF光刻机和1台ArF浸没式光刻机
由于ArF光刻机仍有着较为强劲的需求，所以尼康仍然看好这一市场的未来趋势，目前核心客户因为人员短缺或能源供应等问题，只是在交付上有所推迟
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尽管ASML作为目前占据主导地位的光刻机厂商，凭借独有的EUV光刻机一骑绝尘，主导着半数以上的市场份额，但这并不代表着其他光刻机厂商也就“听天由命”了
以两大国外光刻机厂商尼康和佳能为例，他们就仍在坚持开发并扩展自己的光刻机业务
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NSR-S635E光刻机 / 尼康虽然这样的机器在分辨率上与ASML的EUV光刻机还存在着不小的差距，但已经足以覆盖不少成熟工艺的晶圆制造，以及部分次先进节点的辅助制造了
而在去年的SPIE先进光刻机技术会议上，尼康展示了名为双光束EUV光刻技术
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尼康尼康的光刻机产品阵容比较全面，包括ArF浸没式扫描光刻机、ArF步进扫描光刻机、KrF扫描光刻机、i线步进式光刻机和FPD面板光刻机，基本涵盖了除EUV以外的主流光刻机
其中最新的NSR-S635E为ArF浸没式扫描光刻机，可以做到小于等于38nm的分辨率，1.35的数值孔径和大于275晶圆/小时的吞吐量