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光刻机_雕刻机_曝光系统

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近日,光刻机巨头斯麦公司在2021年财报中宣称,中国企业东方晶源在中国内地销售的产品,涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权

阿斯麦公司表示,他们将密切关注中企动态,如果有确凿证据显示其侵犯公司知识产权,将对其提起诉讼

资料显示,成立于2014年的东方晶源,主营业务集成电路良品率管理,旗下产品包括纳米电子束缺陷检测装备关键尺寸量测装备、计算光刻产品以及微电子设计制造智能良率优化设备

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另外,光刻机的制造对生产环境要求相当高

正是因为如此,目前没有一个国家可以独立完成光刻机的制造

以光刻机巨头荷兰阿斯麦公司制造的EUV极紫光刻机为例,其就继承了美国、日本和德国等多个国家的技术

目前光刻机几乎被阿斯麦公司一家垄断高端光刻机领域,阿斯麦公司的市场占有率超过90%

2019年,阿斯麦公司向美国提交诉讼,指控两名从Brion公司离职的员工带走了大量的技术,为XTAL公司的创立提供基础

至于XTAL公司是如何与中国的东方晶源公司联系在一起的,阿斯麦公司在财报中并没有披露细节

也就是说,阿斯麦公司并没有充分的证据证明XTAL公司与东方晶源公司存在业务往来或者技术交换,所谓的东方晶源涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权,只是阿斯麦公司的猜测

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像阿斯麦公司的光刻机,一般附带有计算光刻设备,但是如果芯片代工巨头不满意,也可以选择第三方企业提供的计算光刻设备

也就是说,在计算光刻技术领域,东方晶源与阿斯麦是竞争对手

而阿斯麦公司在财报中提及的与东方晶源存在关联的美国公司XTAL,是由两名有着阿斯麦公司背景的技术人员创建

东方晶源一位负责人向媒体表示,公司所有的产品和技术均是自主研发水平处于国内领先地位

其中研发出来的计算光刻产品,在半导体的生产过程中有着极为广泛的运用

业内一位人士向媒体表示,计算光刻技术可以显著提升芯片的良品率和质量

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