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在内部因素上,之所以EUV光刻机,ASML遵从了修改后的芯片规则,是因为EUV光刻机的关键零部件需要美的技术,甚至这些零部件就来自美本土
但是在DUV光刻机上则不然,换句话说,ASML在DUV光刻机上实现了全球领先,与美可以说没有直接的联系
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国产9纳米光刻机样机
而且DUV光刻机的关键部件,如双工件台、浸没系统等,主要技术来自ASML自己,所以说ASML在DUV光刻机上拥有着说话的底气
当然,内部因素其实还不是最主要的,主要还是来自外部因素
所谓的外部因素,就是DUV光刻机毕竟是一项已经成熟的产品,从本质上说,DUV光刻机没有技术上难以逾越的鸿沟
即插即用,免包装程序,方便实用。刻录速度很快,1g大约8分钟?(¯﹃¯?)~~外观大气简约瘦小,生产日期今年8月~~
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光刻机是芯片制造环节的一种关键设备,在芯片的工艺制程上,也主要是由光刻机来决定的
根据芯片制造环节的不同,可以分为前道光刻机和后道光刻机,ASML的优势在于前道光刻机,而我国上海微电子的优势,则是后道光刻机
其中决定芯片制程的就是前道光刻机,所以由于ASML使用了部分老美的技术,因此EUV光刻机就受到修改芯片规则的制约,无法出货大陆中企
ASML“摊牌”了
不过根据最新的消息显示,老美方面计划将DUV光刻机也纳入范围当中
此前在EUV光刻机上,ASML的态度比较缓和,但这次直接表示了拒绝,可以说ASML不再遮掩,摊牌了
ASML之所以会在态度上出现这样的巨大反差,出于两个方面的因素,分为外部因素和内部因素
读盘速度:十分快 读盘声音:小 稳定性能:十分不错 轻薄程度:刚刚好 外形外观:美观 产品包装:很好
换句话说,只要假以时日,愿意投入资金去研发,是都可以研发出来的
例如我们国产光刻机,早就已经实现了DUV光刻机的量产
EUV光刻机与DUV光刻机的关键不同,是光源的不同,EUV光刻机的光源波长更短,制造难度很大
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