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光刻机_雕刻机_曝光系统

全球仅荷兰能造高端光刻机,光刻机工艺耗材

那么这个光刻机到底为什么这么难造呢?光刻机是用来制造芯片核心装备,而芯片的重要性那就不言而喻了,而没有光刻机,我们就没有办法制造芯片,所以涉及到芯片,那么光刻机就是无法躲开的存在

目前我国国产光刻机,只能生产90纳米的芯片,就算我们能设计更为精细的芯片,可是没有光刻机一样造不出,目前我们要做的是突破28纳米的光刻机技术

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有句话说,芯片是微观制造工艺极限

那么将这个极限制造出来的光刻机,有多难非常明显了,而每一纳米的突破,都是极其难得,阿斯麦尔温彼得甚至还表示,中国不太可能独立造出顶尖光刻机

要说最难的就是这3个点了

1、光源我们知道,目前ASML最尖端的就是EUV光刻机了,而其使用的就是极紫外线,能够将光刻技术扩展到32nm以下

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然而要说到能够制造光刻机的国家,那还是能数上几个的,可要说高端光刻机,要严格来说,那就只有荷兰了,根据数据显示,荷兰ASML公司是真正的全球光刻机龙头老大,以一家之力,占据全球91%的市场份额,足以可见其的实力有多强,虽然其的核心技术还主要属于美国和德国,但是真的是非常了不起了

然而在EUV光刻机面世之前,一直都是使用的DUV光刻机,使用的是短波紫外线,突破到极紫外线,一共花费了20年的时间才完成,可见对于光源的选择使用,其的难度是非常大的,没有捷径可走

2、反射镜反射镜听起来好像是一个比较常见的工具,然而在EUV光刻机上的反射镜可是一个关键技术

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光刻机工艺耗材

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EUV多层膜反射镜是光学系统当中重要的元件,有了这个反射镜的存在,才能够时间EUV波段的高反射率,且精度要求是非常高,精度越高的东西越难造,显然这个反射镜就不是一个容易造的

3、工作台在芯片制造当中,需要工作台进行配合,而在芯片制造当中,工作台移动来帮助芯片的纹路刻蚀,因此工作台移动的精度越高,那么制作出来的芯片精度也就越高

全球仅荷兰能造高端光刻机

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