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光刻机_雕刻机_曝光系统

光刻机交付中芯国际,日本研发5nm取得重大进展

日本开发的NIL工艺全球第一项无需光刻机芯片制造工艺,此前已被铠侠用于存储芯片生产,此前日本方面就预计NIL工艺将可以演进至5nm,到去年底日本已将该工艺突破10nm,到如今不到1年时间又突破到5nm,可谓进展神速

日本研发5nm取得重大进展

光刻交付中芯国际

早前美国一家精密制造企业Zyvex Labs就宣布研发成功光刻机系统,它舍弃了ASML等光刻机企业所采用的紫外光,而采用了电子束(EBA)刻印电路精度远超采用极紫外线的EUV光刻机,工艺制程可以达到0.768nm,这对于ASML更是重大打击

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据悉日本这次是众多芯片设备企业与日本最大的芯片企业铠侠合作开发了先进的5nm工艺,估计是在原有的NIL工艺基础上研发的,此举对于日本的芯片产业来说具有重大意义,将进一步降低芯片的成本,重振日本的芯片产业

据悉日本已成功突破5nm工艺,这是在无需采用ASML的EUV光刻机情况下达到的,此前美国也有企业研发了无需EUV光科技的工艺,似乎ASML正陷入众叛亲离的局面

由于成本过于昂贵台积电三星研发的3nm工艺如今都面临无客户采用的问题,甚至有消息指苹果考虑到成本问题预计明年的A17处理器仍然采用成熟的4nm工艺而不是3nm工艺

正是由于成本问题,日本、美国的芯片行业才寻求发展无需EUV光刻机的芯片制造工艺,降低成本

此前ASML顺应美国的要求不对中国出售EUV光刻机,今年下半年更进一步连14nm以下的DUV光刻机都不对中国出售,然而如今日本和美国都绕开EUV光刻机,将彻底颠覆ASML的主业--光刻机业务

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