台积电业务开发资深副总经理张晓强则表示,2024年取得设备后,初期主要用于与合作伙伴共同研究,尚不会量产
具体的量产将会是在2025年
而根据ASML今年4月披露的信息显示,目前ASML在位于 Veldhoven 的新洁净室中已经开始集成第一个High-NA EUV光刻系统(EXE:5000)
今年第一季度收到了多个EXE:5200系统(量产版High-NA EUV光刻系统)的订单,今年4月还收到了额外的EXE:5200 订单
目前,ASML收到了来自三个逻辑厂商和两个存储厂商的 High-NA EUV订单