与目前的0.33 NA EUV光刻机相比,0.55 NA光刻机可以显著提高良率、降低成本和缩短生产周期
当然,0.55 NA光刻机的价格也相当昂贵,每台售价约为3亿美元(约合人民币19亿元),比0.33 NA光刻机售价高出一倍
阿斯麦NXE3400型EUV光刻机(0.33 NA) 图源:阿斯麦官网 在本次披露财报时,阿斯麦透露,该公司在2021年四季度收到一份TWINSCAN EXE:5000光刻机订单,累计订单达到5份
与此同时,该公司还在2022年初收到下一代高数值孔径EUV光刻机TWINSCAN EXE:5200的首份订单,下单的还是英特尔