众所周知,制造半导体离不开光刻机,而光刻机是人类文明智慧的结晶,有着“光学工业之花”以及“半导体工业皇冠之上的明珠”等诸多美称,上述美称集中反映了制造光刻机的技术难度
据悉,光刻机的制造涉及精密光学,超高分辨率仪器、自动化工业设计软件、高分子物理与化学等当今最为前沿的科学技术
中企攻克卡脖子技术后
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