据悉,建设包括 FAB 生产厂房、OS 生产调度及研发大楼、CB 综合楼、WH 仓库、CUB 动力站等大型群体工程
项目完成后,可实现年产能约 36 万片 12 英寸功率器件晶圆片,主要生产 MOSFET、GaN FET、SiC FET 等功率器件产品
于是,在封杀多年后,ASML 光刻机,重新出现在中国大陆
由上海建工四建集团承建的临港重装备 F16-01 地块,近日举行了鼎泰匠芯洁净室交付仪式,首台 ASML 光刻机搬入
该项目于 2021 年 7 月开工,建成后将成为中国首座 12 英寸车规级功率半导体自动化晶圆厂