近日,光刻机巨头阿斯麦公司在2021年财报中宣称,中国企业东方晶源在中国内地销售的产品,涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权
阿斯麦公司表示,他们将密切关注中企的动态,如果有确凿证据显示其侵犯公司知识产权,将对其提起诉讼
资料显示,成立于2014年的东方晶源,主营业务为集成电路良品率管理,旗下产品包括纳米级电子束缺陷检测装备、关键尺寸量测装备、计算光刻产品以及微电子设计与制造智能良率优化设备等
像阿斯麦公司的光刻机,一般附带有计算光刻设备,但是如果芯片代工巨头不满意,也可以选择第三方企业提供的计算光刻设备