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所以如果有人解读中国已经有每小时曝光10-20晶圆的EUV原型机，它大概率是把DUV当作了EUV

而第二代MET工具通常命名为MET-5，它经常出现在我的帖子里

美国加州劳伦斯伯克利实验室的MET-5极紫外曝光系统国内关于长春光机所的MET资料有限，我们不妨拿2005年的美国加州劳伦斯伯克利实验室的MET工具的性能做一个参照

先锋蓝光刻录机己收到，质量很不错。物流送货上门，非常方便，很好，安装到位，正在调试，物流也很快。昨天下午下单，今天上午就到了

解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估光刻机投影系统双远心结构的作用

我们注意到几篇光刻胶专利都是2021年刚刚发表的

因此，很显然，这些资料已经充分地披露了最新的光刻机研究项目的进展，以这些资料作为背景做中国的光刻机困局的分析，是充分的、也是有时效性的

中国光刻机困局研究三要素中国光刻机困局的分析，基于以下三个要素：1，首先整理技术发展的真实资料，它包括中外论文、会议、报告、专利、新闻资讯等

简单翻阅这些2022年5月最新的中文资料，也可以验证前文论述中所涉及到的资料范围的准确性、及时性、全面性

先锋的刻录机确实很稳定，效果也很好，已经用了好几个了，又买了一个感觉，确实不错。小巧玲珑，播放翻录效果都好，很安静，刻录还没用暂不需要，是一款超赞的小光驱！拍照为证。

今天的故事仍然从这里开始

长光集团其中，公众最为熟悉的恐怕当属成立于2018年的北京国望光学科技有限公司，它的产业化继承了长春光机所02专项的DUV光刻机曝光光学系统

长光集团下属企业长光集智光学科技有限公司：国有控股2021年12月30日，长光集团迎来了一家新企业：长光集智光学科技有限公司

编者按：2021年年中，我粗浅的梳理了中国EUV光刻机的研发情况

这一年国际形势巨变，而西方对中国的光刻机制裁依然没有解除的迹象，而这一年中国的光刻机研发又出现了什么新的景象呢？长春光机所，是最被国人瞩目的光刻机研发单位

中国光刻机困局之2022(一):长春光机所的新景象中国上世纪光刻机

长光集智光学的招聘信息（部分）长光集智光学科技有限公司：金春水作为长光集智光学科技有限公司的最大自然人股东，金春水教授出现在中科院《2017年02专项“极紫外光刻关键技术研究”通过验收》的通讯稿里

长光集智光学的招聘信息（部分）长光集智光学科技有限公司：金春水作为长光集智光学科技有限公司的最大自然人股东，金春水教授出现在中科院《2017年02专项“极紫外光刻关键技术研究”通过验收》的通讯稿里

　　金春水说：“我们建立了较为完善的曝光光学系统关键技术研发平台，圆满完成国家重大专项部署的研究内容与任务目标，实现EUV 光学成像技术跨越，显著提升了我国极紫外光刻核心光学技术水平

刻碟速度很快，CD碟5分钟内刻完，大品牌，质量有保障，物美价廉，值得信赖。先锋(Pioneer) 16X内置蓝光刻录机质量非常好 长期使用中 值得信赖 好评五星

美国加州劳伦斯伯克利实验室CXRO主任值得一提的是，2005年发表这篇论文的帕特里克·诺洛（Patrick Naulleau）当年是纽约州立大学的副教授，他现在是加州劳伦斯伯克利实验室CXRO的主管，CXRO实验室正在为下一代NA0.55 光刻机开发关键配套材料

外形外观：精美 读盘声音：静音 稳定性能：稳定 轻薄程度：超薄 产品包装：精美 读盘速度：快

一个 6 英寸的 EUV 光掩模结语20年前，ASML的一台ADT工具，便坐落在纽约州立大学理工学院，也就是帕特里克·诺洛（Patrick Naulleau）当时工作的单位

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源中国光刻机的研发现状

首先打开包装袋里边东西完好，然后物流很快，加上商品出厂日期是7月全新的，配件，赠品齐全，这次购物，我对京东各方面都很满意

当然，作为实验性工具，MET也是在不断发展的，第一代MET工具NA0.3的数值孔径，对应于ASML的第一代NA0.33 EUV光刻机；第二代MET工具具有NA0.5的数值孔径，对应于ASML的第二代NA0.55EUV光刻机

不愧是老牌子，质量杠杠滴，上一个也是买的先锋，用了快十年，还能继续用，这次再买个新的，速度不稳定，忽快忽慢的，但是快起来的时候真快

2，除了类似的综述论文所需资料外，会包含研究人员和研究团队的分析，研究人员的背景、研究团队的组成、稳定性，以及他们的技术能力，是分析、预测项目推进的重要组成信息；介绍俄罗斯的LPP EUV光源研究员康斯坦丁·N·科舍列夫3，在研究人的因素之上，进行详细的工业基础、技术背景调查，以此了解每一项组件所依赖的外部条件，如软硬件、材料、资源、资金等，以此判断实现每一个环节大概所需要的时间，并整体综合判断项目进度

这些专利也在我的前文中做过详细介绍，这里就不赘述了

《光刻技术》刊登的极紫外光源综述论文这篇论文也介绍了长春光机所的最新EUV反射镜及镀膜相关工作，最新的工作包括2020年的两篇论文

曝光系统被置于真空罩中

在这个系统里，最核心的投影光学部分（MET projection optic）主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术，而这些也是长春光机所02专项的核心工作

编者按：2021年12月30日，长春光机所依托02专项极紫外光刻研究团队，在深圳国资委资助下，合作成立了一家新企业：长光集智光学科技有限公司

长春光机所研发团队持股20%，而第二大自然人股东--王丽萍教授，便是今天故事的主角

当然，我们在中国的光刻机困局的讨论仅限于核心部件

在这个环节，我将尝试在EUV镜头制造、光学系统制造、光源制造等环节挖掘其瓶颈部分

只有涉及到根本层面时，我们才了解真正打破垄断所需要的软硬件条件，以及限制我国开发光刻机的关键环节

例如，撰写准分子激光文章的便是北京科益虹源的总经理江锐博士

《光刻技术》专刊目录在这些论文中，不仅详细介绍了国外光刻技术的发展历史，还详细包含了中国过去二十年的几乎所有重要的进展，我将以极紫外光源和极紫外光刻机的研究进展稍作诠释