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解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估北京科华光刻机

光刻机困局调查中涉及的时间动态分析图：光刻工艺的演变因此，我整理了大量各种变量的时间演变曲线，并且标注其中的关键节点，对于重要的关键节点，做详细的人、物、力的调查，并以此来评估、矫正对技术发展趋势的判断

京东的铁粉，家里大大小小的物件都是从京东采购的。配送快，质量好！碰上活动更合适！质量好，非常满意，五星好评，诚信商家，物流很快，好评。价格优，商家服务好，非常满意，五星好评，诚信，商家，赞。十年前买过这个牌子，弹出不好使了，刻盘还能用，刻录机用的人少了，价格也便宜了，朋友家的明基光驱坏了，学校老师要用光盘，刚需使用，又入了一台。外置光驱坏了，所以买了这款内置光驱，希望能用的时间长点儿。。。 十年前用过先锋的光驱，质量不错，这回又买的是先锋光驱，还可以、运行稳定、读盘的声音也还可以。。。一直选择在京东购物，特别是京东自营店，质量有保证，享受下单后，很短时间内就能体验上产品的感觉，快递小哥服务很好，非常感谢。包装盒看舒服

2017年长春光机所的2镜头MET曝光工具验收，获得32纳米线宽曝光图形十年后，2017年02专项验收时，我们可以看到，其验收的两镜头MET曝光工具，获得32纳米线宽曝光图形，与2007年王丽萍教授的论文设计几乎是一致的

而如果我们把2017年当作中国的两镜头EUV光学系统成型的时间节点，我们有条件在3年内完成ADT验证机吗？回答这个问题，我们首先要理清蔡司的MET工具和长春光机所的MET工具的差异：2003年蔡司的两镜头MET曝光工具的核心功能，是进行EUV的曝光能力极限的原理性论证工作；而2017年中国的两镜头MET曝光系统核心是搭建中国的EUV研究基本条件、团队

”没错，2021年底成立的长光集智光学科技有限公司便是囊括了中国集10年于一役的02专项极紫外光刻研究的领军人物及其团队

除了金春水教授外，王丽萍、于杰、王辉等都是金春水教授的学生，其中前十的成员持股均在1%以上

我认为这是对科研团队最好的奖励

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大品牌的外置光驱，一直都用这个牌子。从前的内置光驱也是一样。主要是性能稳定，耐用。刻录光盘很少报废，速度很快。现在新电脑都很少配置光驱，买他就很方便。

今天的故事仍然从这里开始

长光集团其中，公众最为熟悉的恐怕当属成立于2018年的北京国望光学科技有限公司，它的产业化继承了长春光机所02专项的DUV光刻机曝光光学系统

长光集团下属企业长光集智光学科技有限公司：国有控股2021年12月30日，长光集团迎来了一家新企业：长光集智光学科技有限公司

京东自营就是快 再说说先锋的光驱 几十年的世界品牌 我个人用了十几年了 无噪音 读盘快 解码各种光驱的格式都是ok的 值得信赖很购买

2022年5月《光刻技术》专刊封面《光刻技术》专刊这期专刊一共发表30篇特邀综述文章，涵盖了包括EUV光源、计算光刻、照明系统、投影物镜检测、光刻胶、浸液系统、准分子激光、光刻机运动控制台等光刻机研究的方方面面

2，除了类似的综述论文所需资料外，会包含研究人员和研究团队的分析，研究人员的背景、研究团队的组成、稳定性，以及他们的技术能力，是分析、预测项目推进的重要组成信息；介绍俄罗斯的LPP EUV光源研究员康斯坦丁·N·科舍列夫3，在研究人的因素之上，进行详细的工业基础、技术背景调查，以此了解每一项组件所依赖的外部条件，如软硬件、材料、资源、资金等，以此判断实现每一个环节大概所需要的时间，并整体综合判断项目进度

先锋刻录机，15年了 始终在用这个牌子 真心好用。还不错！14年的老电脑！就机箱和光驱没有换过啦！这次还换先锋的光驱！物美价廉

在过去三年的六镜头EUV光刻光学系统项目的研究里，王丽萍教授和她的团队已经进展到哪一个阶段了呢？在面对西方技术封锁下，我们能够获得项目推进所必须的软硬件条件吗？下次见！两镜头极紫外曝光工具MET-5参考资料2017年中科院02专项验收通讯稿：https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml2017年长春光机所02专项验收通讯稿：http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html2005年加州劳伦斯伯克利实验室MET工具论文：https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc885229/m2/1/high_res_d/901242.pdf纽约州立大学理工学院ADT工具主页：https://www.sunypoly.edu/research/wafer-fabrication/wafer-processing-rd/lithography-patterning-tools/asml-300mm-adt-euv.html

解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估这些光刻机知识您得知道

物有所值，买回来看包装就很喜欢，推荐此产品，欢迎大家来买他家的产品。 读盘速度：很快， 读盘声音：声音不是很大 稳定性能：刻录光盘很舒适 外形外观：很漂亮，用着合适。 轻薄程度：很薄

读盘速度：读盘速度非常快，即插即用读盘声音：声音小。临时要用，上午下单京东下午就送到了，非常方便。但凡装机几乎必选先锋光驱，用了很多年了，质量一直都很稳定。话说包装设计得蛮漂亮的

简单翻阅这些2022年5月最新的中文资料，也可以验证前文论述中所涉及到的资料范围的准确性、及时性、全面性

编者按：2021年年中，我粗浅的梳理了中国EUV光刻机的研发情况

这一年国际形势巨变，而西方对中国的光刻机制裁依然没有解除的迹象，而这一年中国的光刻机研发又出现了什么新的景象呢？长春光机所，是最被国人瞩目的光刻机研发单位

光驱外观好看，包装店家很用心，上机试了一下，读取光碟内容很快，播放没有卡顿，特意用了几天才来评价，希望对大家有所帮助 读盘速度：快 读盘声音：没有声音 稳定性能：非常稳定 轻薄程度：非常薄 外形外观：漂亮，高档大气上档次 产品包装：完美

一直在京东购买东西，这次也是一样，买了一个这个产品，质量感觉也不错，加上现在又有活动，所以到手也比较便宜，这个还能刻录DVD光碟，更方便很实用，相信京东，相信京东自营产品，很省心，很快捷，很实惠，很效率

正品，发货速度也很快！这款蓝光刻录机支持16倍速，而且非常静音，刻录数十G光盘?最佳选手。省时间啊！美中不足没有附赠刻录软件

比如我在2021年7月前后撰写多篇短文介绍这套进口德国的极紫外反射镜镀膜机

技术发展曲线的讨论分为创新行为和复制行为，正如我前文所述，它们依赖于完全不同的人才、软硬件条件、资源等

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

刻录速度不错！不挑盘！很好！京东物流也超快！质量好，很好用，价廉物美，物流半天就送到家了。

在过去三年的六镜头EUV光刻光学系统项目的研究里，王丽萍教授和她的团队已经进展到哪一个阶段了呢？在面对西方技术封锁下，我们能够获得项目推进所必须的软硬件条件吗？下次见！两镜头极紫外曝光工具MET-5参考资料2017年中科院02专项验收通讯稿：https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml2017年长春光机所02专项验收通讯稿：http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html2005年加州劳伦斯伯克利实验室MET工具论文：https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc885229/m2/1/high_res_d/901242.pdf纽约州立大学理工学院ADT工具主页：https://www.sunypoly.edu/research/wafer-fabrication/wafer-processing-rd/lithography-patterning-tools/asml-300mm-adt-euv.html