滨州经济技术开发区慧泽电脑服务中心

　　他此行目的之一，是要阻止一桩中荷企业间的交易：一年前，中芯国际花费1.5亿美元，向荷兰ASML公司购买了一台EUV光刻机

　　小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产

有了这台光刻机，中芯国际将有望在芯片制程上继续追赶，缩短差距

　　1961年，美国GCA公司制造出了第一台接触式光刻机

而一个广为流传的说法是，1966年，中科院下属109厂就与上海光学仪器厂协作，研制成功了我国第一台65型接触式光刻机

　　早期的光刻机复杂程度和照相机差不多，技术难度不高，所以大家的差距也没那么大

Pioneer 外置光驱很好使用，兼容macOS系统，读碟声音很小。很好的一款光驱，先锋品牌质量不错，虽没有用同样给予好评！

而且同一个液滴需要在极端时间内被连续轰击两次，第一次冲击是将它压平，第二次冲击是将它汽化，使之成为发光的等离子体，这样才能产生足够强度的极紫外光

更重要的是，轰击所产生的光转瞬即逝，因此需要每秒钟轰击约五万次，才能保证光的持续性

为了让激光束能以极大的功率稳定传输，系统的复杂性可想而知

事实上，EUV的激光系统就有大约45万个零件，重约17吨，线缆长度超过 7000 米

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对于ASML来说，中国市场对它意义重大，2021年和今年一季度中国市场为它贡献了三分之一的收入，已成为它的最大市场，如此大的市场，当然是ASML不能轻易舍弃的，事实今年一季度在诸多压力下，ASML就紧急对中国出货23台DUV光刻机，更计划在中国增加200名员工，以更好地为中国客户服务，取得更多市场

EUV光刻机的技术难度比当前正在攻克的DUV光刻机更大，在更先进的EUV光刻机都已取得技术突破的时候，DUV光刻机量产自然就更没难度了

光驱收到了，非常好用，连续刻录了10张都成功了，先锋这个牌子还是值得信赖的。整体来说还是很不错的，店家服务态度很好，而且质量也很好，比前的华硕好用太多，开心

国产为0

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如上图所示，去年全球一共售出478台前道光刻机，其中ASML拿下309台，占比为65%，日本厂商拿下169台，占比为35%

而中国厂商的份额为0

再看看5种分类，可以看到EUV光刻机是ASML独占100%，而DUV中，精度更高的ArFi、ArF Dry均是ASML说了算，占比分别96%、88%

国产光刻机的瓶颈

对于大多数不愿意卷入中美大国对抗的国家来说，相当于把自己往火坑里推

韩国算得上被美国控制的“半殖民地“，现任总统尹锡悦本人更是典型的”亲美派“

可即便这样，韩国也一再推迟加入所谓”芯片联盟“，并一再向中方传话，不会损害中国利益

11月15日下午，趁G20峰会的契机，中荷元首在巴厘岛举行会晤

尤其是在前期研发并无法量产的情况下，几个亿砸进去就像是石子落入大海一样，有时候连个“响”都听不见

光刻机的研发难度难以想象因此，不少国家在衡量了利弊之后，还是选择了直接进口

毕竟想靠着自己研发并且生产，实在是太费劲儿了

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2016 年，上海微电子90nm光刻机实现量产，华卓精科成功研制出两套双工作台样机，成为继阿斯麦之后，世界上第二家掌握这项技术的企业

至此，国产光刻机虽然还没有完全走出困境，但是经过20多年的艰难追赶，中国的光刻机乃至整个芯片产业，在吸取了之前的发展教训后，总算逐渐开花结果

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国产光刻机设备

ASML此前未有对中国出售EUV光刻机就在于美国的要求，美国为了自己的利益要求欧盟跟随，荷兰选择照单全收，然而三年多时间过去，欧盟逐渐看清了美国的面目，明白了跟从美国的结果是损害了欧洲的经济利益，而美国企业却因此获利

ASML当然不希望自己投入巨资研发的第一代EUV光刻机就此终结，而希望继续销售第一代EUV光刻机获取厚利，不过EUV光刻机的潜在大客户只有中国，由于美国的阻挠，至今ASML都未向中国交付EUV光刻机

ASML的高管近期也要求获得自由出货权利，表示它是一家欧洲企业，不应该遵从美国的要求

也就是说如果要制造1.8nm以下的芯片，可能EUV光刻机就无法胜任了，要推出全新一代技术，至于是什么技术，目前业界还没有定论

目前美国有公司推出了EBL电子束光刻机，可以生产0.768nm的芯片，但无法大规模量产

而俄罗斯在研究X射线光刻机，没有光掩模板，直接光刻，据称可以用于1nm芯片，但没有样品出来

垄断不再

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