EUV有多耗电?由于EUV光源的能源转换效率只有 0.02% 左右,所以输出功率只有250W的EUV光刻机,实际需要0.125万千瓦的电力,耗电量是DUV光刻机的10倍以上
这样下来,一台EUV一年耗电量可达到1000万千瓦时
更重要的是,EUV光源能量转换率为0.02%,另外的99.98%电能会变成热量散发出去,又需要大量的设备来降温散热,这又要耗电
台积电的数据显示,2021年能源消耗量为191.9亿度,约占台湾的7.2%
而深圳有1800万深住人口,2021年居民用电量也仅为165.5亿度左右,这就是说台积电的耗电量,可以让深圳的居民用一年