CINNO Research半导体事业部总经理Elvis Hsu在接受观察者网采访时表示,光刻机是半导体制造设备价格占比最高的部分约25-30%,其研发难点在于曝光光源、对准系统和透光镜头等技术的整合,以及庞大资金投入
【文/观察者网 吕栋】“中国不太可能独立复制(replicate)出顶尖的光刻技术,因为阿斯麦依赖于不懈的创新,以及整合只有从非中国供应商处才能获得的零部件
但我的意思并不是绝对不可能,因为中国的物理定律和我们这里是一样的
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