此前清华大学机械工程系朱煜教授带队的清华大学研发团队就已研发出光刻机双工作台,由此中国成为全球第二个可以生产双工作台的国家;此外激光头、镜头等厂商也陆续生产出先进的组件,各个产业链企业的努力正逐渐完善国内的光刻机产业链
中国采购荷兰euv光刻机
EUV光刻机的技术难度比当前正在攻克的DUV光刻机更大,在更先进的EUV光刻机都已取得技术突破的时候,DUV光刻机量产自然就更没难度了
中国在光刻机技术方面的快速突破,已让ASML感到担忧,事实上此前在美国的诸多压力下,ASML的高管就表示限制ASML向中国供应光刻机无助于全球产业链的发展,中国迟早能解决光刻机问题