逻辑芯片晶圆厂不同芯片节点的光刻机需要投资比例到了7纳米以下,先进逻辑芯片所需要的EUV光刻机的投资比例不断增加:1,5纳米节点的EUV光刻机比例达到60%;2,3纳米节点的EUV光刻机比例达到70%;3,2纳米节点以下的EUV光刻机比例达到80%
中国为什么有那么多“弯道超车”故事?再论EUV光刻机的战略价值光刻机怎么工作
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