美国联合欧洲,出动了国家三大实验室,联合美欧160多家科研单位耗费了十几年才攻克了EUV的理论难题
而ASML在制造的时候,可以获取到全球最顶级的零件,光源采用美国的Cymer,透镜是德国的蔡司,2010年,ASML向台积电交付首台EUV研发设备TWINSCAN NXE:3100系统
上海做光刻机厂商公司
刚收到货,装上后刻了一张,很好。原以为先锋DVD内置刻录机停产了。现在看来是谣传,从机子上看是今年5月出厂的。
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