事实上光刻机本身就是一条相当庞大的产业链,需要双工作台、物镜系统、光源系统等诸多设备,这绝不是仅仅靠一两家供应商就能搞定的,至于专利方面,ASML仅是在中国就已申请了近5000份专利,其中已有2000份专利获得授权,它在全球市场更是拥有近万专利
国内有科技企业公布了EUV光刻机专利,热闹了几天,然而仔细想来,这专利恐怕对于中国光刻机产业影响有限,离量产依然很远,就如此前的石墨烯专利一样
EUV光刻机可谓是科技行业的皇冠,它集中了全球诸多科技的精华,ASML的EUV光刻机需要大约10万个零部件,由德国、美国、日本等诸多国家的大约5000家企业供应相关的元件,可见它的高度复杂性