5纳米光刻机中国买到了吗
它的验收成功,也标志着我国研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备,具有重大意义
因为,超分辨率光刻机与ASML光刻机采用了完全不同的技术路线
ASML最出名的当属EUV光刻机和DUV光刻机
EUV指的是极紫外光,它可以制造7nm以下的芯片,使用的是13.5nm波长的光源
总之,这款表面等离子体超分辨光刻装备的成功研发,打破了传统光刻机的路线格局,形成一条全新的纳米光学光刻技术路线,绕开了国外相关领域的技术壁垒,具有完全自主知识产权,其关键技术指标达到超分辨成像光刻领域的国际领先水平