因为低一档次的DUV光刻机,我们自己的产业已经初具雏形
据公开信息显示,上海微电子自研的28nm光刻机即将进入生产车间,且这款光刻机能够制造出14nm芯片,这也是为什么DUV光刻机没有被纳入到瓦森纳协定中,没有禁止向中国出口
“中国不太可能独立复制出顶尖的光刻技术
”不过这样说完之后,他还是做了补充:“这也并不是绝对不可能,因为中国的物理定律和我们这里是一样的”
对此王传福更是直接回怼,光刻机是人造的,不是神造的
Peter Wennink ASML CEO这里阿斯麦老板提到的是顶尖的光刻技术,就是EUV