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2016 年,上海微电子90nm光刻机实现量产,华卓精科成功研制出两套双工作台样机,成为继阿斯麦之后,世界上第二家掌握这项技术的企业
至此,国产光刻机虽然还没有完全走出困境,但是经过20多年的艰难追赶,中国的光刻机乃至整个芯片产业,在吸取了之前的发展教训后,总算逐渐开花结果
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