中国为什么有那么多“弯道超车”故事?再论EUV光刻机的战略价值
逻辑芯片晶圆厂不同芯片节点的光刻机需要投资比例到了7纳米以下,先进逻辑芯片所需要的EUV光刻机的投资比例不断增加:1,5纳米节点的EUV光刻机比例达到60%;2,3纳米节点的EUV光刻机比例达到70%;3,2纳米节点以下的EUV光刻机比例达到80%
比如,7纳米逻辑芯片晶圆厂的光刻机投资中:1,干式DUV光刻机的投资比例是10%,;2,浸没式DUV光刻机的投资比例大约是50,;3,数值孔径NA0.33的第一代EUV光刻机的比例是40%