非常小巧的产品,出乎意料特别的轻,有一种不能置信的感觉。具体速度还是可以的,质量自然刚刚的,过去一直使用这个品牌,今次也不例外。声音很安静,基本没有振动,当然我有适合的防震设备。很适合外带的小家伙,移动方便。
中国的目标,是要在2030年造出EUV极紫外光刻机,大家可能觉得,ASML2010年就已经开始量产光刻机,这会不会太晚了,事实上,这并不算太晚,我们通过不断地缩小所采用的光源的波长(EUV光源13.5nm),增强投影物镜的最小线条成像能力(提高数值孔径1.3)等方式,不断缩小能够加工的最小线宽