△距氢(H)钝化硅表面约1nm的W扫描隧穿显微镜(STM)尖端电子似乎不太可能只遵循暴露单个氢原子所需的实心箭头路径
为了解决这个谜团,必须了解电子实际上不是从尖端发射(在成像和原子精密光刻模式下),而是从样品到尖端(在成像模式下)或从尖端到样品(在光刻模式下)模式
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数据显示,光刻胶中的沉积能量不会下降到光束中心的10%,直到径向距离约为4nm
使用HDL,实验团队能够暴露比EBL的10%阈值半径小>10倍的单个原子
这个小得多的曝光区域令人惊讶,因为HDL不使用光学器件,只是将钨金属尖端放置在H钝化硅样品上方约1nm处
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单个命令或脚本的命令行界面
内置和用户编写脚本的脚本菜单
多种模式输入模式——如几何形状、矢量列表、黑白位图
内置计量:提供无损成像模式,以便新图案可以与旧图案对齐,并且可以在写入后检查图案质量
一、实现更高的分辨率和精度的关键:氢去钝化光刻ZyvexLitho1所采用自我显影的电子束光刻(EBL)技术的核心是使用氢去钝化光刻(HDL)从Si(100) 2×1二聚体列(dimer row)重建表面去除氢(H)原子
如果开发得当,APM 允许灵活制造各种产品,从设计材料到超级计算机再到先进的医疗设备
在创办 Zyvex Corporation 之前,Jim 作为软件企业家的背景使他意识到 APM(创建“数字物质”)可以比任何现有技术更有效、更准确和更具成本效益地制造产品
之前自己有一个黑色的,用着不错,就照样子又买了一个,黑白双煞。物流很快,基本上下单后第2天到货,产品用起来也很方便,不需要安装刻录软件。