上世纪我国第一颗原子弹爆炸成功之后,世界为之震惊,国人也为此自豪
如今时过境迁,在岁月洪流的推动之下,出现了一种比原子弹还稀有的东西,它就是光刻机,其制造难度属于“地狱级别”
为什么光刻机如此难造?因此到目前为止,全世界仅有两个国家掌握了制造光刻机的主流技术
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投影式光刻机与照相机的对比示意图至于第四代步进式扫描投影光刻机,就实现了在光刻过程当中掩模和硅片同步移动,将芯片的“最小工艺”节点再次拔高