曾经编写过《光刻掩模版的制造》武汉无线电元件三厂,一度还卖起了副食品
徐端颐团队也退出了光刻机的研究,转向光盘技术领域,还拿到了国家发明二等奖
【3】从头再来 2002年,荷兰南部的边境小镇费尔德霍芬,来了一批西装革履的中国人,他们身上背着一项沉重的使命——研发刚被列入“863重大科技攻关计划”的新型光刻机
但国内仍停留在接触式光刻机时代
落后就要挨打,深深地刻在一代人的印记里,得到消息的中国决心奋起直追
1977年,在江苏吴县(今苏州吴中区),专门开了一场光刻机技术座谈会,与会的67名代表指出:光刻设备和工艺极为重要,要提高光刻机技术,让中国半导体设备赶超世界先进水平