但想要制造出一定的东西,必须要有工作台,在光刻机的制造上工作台同样也是一个非常令人头疼的技术突破口
光刻机的工作台主要控制的芯片在制造过程当中的一些网络设计,所以对于工作台的移动精度要求也非常的高
在这样的情形之下,想要能够制造出符合要求的工作需要付出的努力也更多,同时即使造出来了,工作台运作的过程当中,还需要花费很多的时间来对准,这样才能够保证它的工作进行程度
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